В книге известного японского ученого рассмотрены методы электронно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Дана классификация различных типов дефектов, методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов. Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования, а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС.
Для инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и производством сверхбольших интегральных схем.
Дополнительно: Уважаемые покупатели ! Все представленные книги из домашней библиотеки. За границу не отправляю. Заказ не принимается к исполнению, если отсутствуют контактные данные (телефон). Встречи в первой половине дня по предварительной (накануне) договоренности.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.