В книге известного японского ученого рассмотрены методы электронно-лучевой, фото- и рентгеновской литографии, применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем. Дана классификация различных типов дефектов, методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов. Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования, а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС.
Для инженерно-технических работников, занимающихся проектированием и производством сверхбольших интегральных схем.