наша кнопка
|
Только: серийные издания, многотомные издания
 50 руб
50 руб
| Качурина, Е.Е.; Мякиненков, В.И.; Щеглова, В.В. |
| Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем. В 2 томах |
Серия: Обзоры по электронной технике. Полупроводниковые приборы
1982 г.; Изд-во: М.: ЦНИИ "Электроника"
|
| В обзоре обобщены сведения о перспективах использования пленок силицидов тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и ИС, о методах их получения и свойствах. Рассмотрены свойства пленок силицидов тугоплавких металлов, поведение силици... |
50 руб
|
|
RU/78)
