Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Качурина, Е.Е.; Мякиненков, В.И.; Щеглова, В.В. Силициды тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем В 2 томах Серия: Обзоры по электронной технике. Полупроводниковые приборы
	Издательство: М.: ЦНИИ "Электроника"
	Переплет: мягкий; 80 страниц; 1982 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 15.09.2008

Аннотация

В обзоре обобщены сведения о перспективах использования пленок силицидов тугоплавких металлов в технологии полупроводниковых приборов и ИС, о методах их получения и свойствах. Рассмотрены свойства пленок силицидов тугоплавких металлов, поведение силицидов при термическом окислении, изучены механизмы окисления и свойства полученных окислов.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать