В книге описаны конструкции приведены основные характеристики наиболее широко применяемого оборудования полупроводникового производства, сформулированы требования , предъявляемые к оборудованию, а по основным видам оборудования 0практические рекомендации по оперативной проверке исправности его. Изложены основные принципы комплексной механизации и автоматизации в современном полупроводниковом производстве. Описаны наиболее характерные линии и производственные системы.
Предназначена инженерам и научным работником, связанным с производством и применением полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.