Рассмотрены особенности проектирования и производства контактных устройств для контроля изделий микроэлектроники. Изложены предъявляемые к ним основные требования, классификация, методы конструирования и расчета с учетом технологии их изготовления. Описаны типовые варианты конструкций контактных устройств, технологические методы изготовления и методы контроля.