Проведен системный анализ технологического процесса получения тонкопленочных структур гибридных микросхем. Рассмотрены принципы моделирования, существующие в настоящее время, математические модели физических процессов, происходящих в зоне технологического воздействия. Описаны общая структура, математическое и программное обеспечение автоматизированной системы проектирования и анализа технологических решений (АСПАТР) для процесса термического напыления тонкопленочных структур.
Для научных работников.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.