Микросистемы на кремнии. На нем. яз. Содержание. Einleitung. Basistechnologien auf Siliziumsubstrat. Voraussetzungen fur eine monolihische Systemintegration. Schunittstellen zwischen den einzelnen Technologien. Beschreibung der Herstellungsprozesse. Ergebnisse der Einzeltechnologien. Messergebnisse an Gesamtsystemen. Verbesserung der Schaltungseigenschaften. Ausblick. Zusammenfassung.