Кратко описаны физические свойства пьезоэлектрических материалов, используемых в микроэлектронике. Дан сравнительный анализ технологии получения пленок этих материалов. Рассмотрены зависимости свойств пленок от условий их получения. Приведена технология изготовления приборов на основе пьезоэлектрических пленок, их характеристики и области применения. Для инженерно-технических работников, специализирующихся в области микроэлектроники.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.