Рассматриваются физические основы фотометрического метода контроля технологии производства интегральных схем (ИС), основные типы источников излучения и фотоприемников, применяемых в фотометрических схемах контроля. Приведены схемы измерения толщины и скорости осаждения тонких пленок. Проанализирована точность фотометрического метода контроля технологических процессов производства ИС и даны рекомендации по ее повышению.
Дополнительно: Уважаемые покупатели на выкуп заказа отводиться семь дней с момента подтверждения наличия книги, по истечении данного срока заказ анулируется. При заказах на сумму более 5000 р. возможен прием оплаты от организаций по безналичному расчету.