В книге изложены физические основы взаимодействия ионов и электронов с веществом; рассмотрены возможности применения этих процессов в технологии изготовления приборов, интегральных микросхем на основе полупроводниковых и пленочных материалов и др.
Содержание.
Основные явления при взаимодействии ускоренных электронов и ионов с твердым телом.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Образование радиационных дефектов при облучении ионами.
Изменение электрических свойств твердых тел в результате ионной бомбардировки. Ионная имплантация в полупроводники.
Модификация свойств твердых тел ионной бомбардировкой.
Распыление твердых тел ионами.
Движение ускоренных электронов в веществе.
Основы электронно-лучевой обработки материалов.
Дополнительно: При заказе от 1500 р. отправка Почтой России бесплатно.
При заказе от 5000 р. разовая скидка 15% и отправка Почтой России бесплатно.
За пределы РФ книги не высылаю
Встречи по договоренности исключаются.