В обзоре систематизирован материал по исследованию процесса геттерирования – захвата и накопления посторонних примесей в неактивных областях приборов. Рассмотрено геттерирование металлических примесей с кремнии расплавами, диффузией фосфора, радиационными дефектами. Даны рекомендации по выбору методов геттерирования для улучшения характеристик приборов и повышения выхода.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже