Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Панкратов, И.В.; Сатаров, Г.Х.; Деулин, Е.А. и др. Анализ производительности электронно-лучевого литографического оборудования Серия: Обзоры по электронной технике. Технология, организация производства и оборудование
	Издательство: М.: ЦНИИ "Электроника"
	Переплет: мягкий; 44 страниц; 1986 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 07.10.2008

Аннотация

Рассмотрены основные типы установок электронно-лучевой литографии и ограничения их параметров. Получены аналитические зависимости времени обработки от характеристик установок. Произведен сравнительный анализ производительности различных типов установок электронно-лучевой литографии. Показаны пути повышения их производительности.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать