Пособие для студентов специальностей электронной техники. Главы: Измерение, контроль и испытания ИМС (интегральных микросхем). Основные понятия и опредения; Технология производства ИМС; Контрольно-измерительные операции при производстве ИМС; Методы измерения и контроля параметров технологических сред, полупроводниковых пластин, эпитаксиальных и полупроводниковых структур; Общие методы измерения и контроля электрических параметров ИМС, Технические (аппаратные) средства автоматических систем измерения и контроля электрических параметров ИМС; Программное обеспечение автоматических систем измерения и контроля электрических параметров ИМС; Методы контроля цифровых ИМС; Методы контроля аналоговых ИМС; Методы контроля ИМС ЦАП и АЦП; Примеры автоматического оборудования контроля ИМС. Схемы, графики, таблицы, формулы. Список литературы - 19 названий.