В книге рассматриваются твердофазные превращения тугоплавких оксидов и их соединений в приповерхностных слоях и конденсированных пленках с преимущественно диэлектрическими свойствами. Для этого показано, что изменения химического состава, вызванные близостью поверхности и сопровождаемые обеднением по анионной подрешетке в приповерхностном слое, аналогичны условиям пленочной технологии образующегося кислородного соединения. Возможные пути и поведение продуктов твердофазных превращений рассмотрены на примерах окисления в различных средах, растворения и инициируемого разложения под действием энергетических потоков. При этом значительное внимание уделяется ионообменным реакциям и локализации протекающих процессов.
Для научных работников, инженеров и аспирантов, связанных с пленочной технологией оксидных покрытий, и специалистов, занимающихся физикохимией материалов в тонком слое.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение|
Часть I. ФИЗИКОХИМИЯ ОКСИДОВ В ТОНКОМ СЛОЕ
Глава 1. Приповерхностная разупорядоченность кислородных соединений
1.1.Нестехиометрия и собственная дефектность
1.2.Взаимодействие дефектов и упорядочение оксидов
1.3.Дефектность вблизи поверхности
1.4.Неоднородность конденсированных пленок
Глава 2. Кристаллохимия оксидов и оксидных пленок
2.1.Устойчивые соединения
2.2.Соединения с широкой областью гомогенности
Часть II. ЯВЛЕНИЯ И ПРОЦЕССЫ ПЕРЕНОСА В СЛОЯХ И ПЛЕНКАХ
Глава 3. Волноводный перенос излучения
3.1.Перенос излучения в однородных слоях и пленках
3.2.Неоднородное распределение показателя преломления
3.3.Волноводный перенос как метод изучения оксидов в тонком слое
Глава 4. Ионно-электронный перенос в многослойных пленочных системах
4.1.Система металл-оксид-металл
4.2.Система металл-оксид-полупроводник
4.3.Системы с жидким электролитом
Глава 5. Диффузия в тонком слое
5.1.Виды диффузии
5.2.Влияние механических напряжений на изменение показателя преломления диффузионных слоев
Чйсть III. ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ В ОКСИДНЫХ СЛОЯХ И ПЛЕНКАХ
Глава 6. Образование оксидов и оксидных систем
6.1.Некоторые вопросы окисления твердых тел и пленок
6.2.Формы роста фаз внедрения с неметаллами
6.3.Многофазные оксидные системы
Глава 7. Взаимодействие оксидов с жидкой фазой
7.1.Взаимодиффузия ионов
7.2.Растворение поверхности оксидов
Глава 8. Инициируемое разложение оксидов в тонком слое
8.1.Локализация твердофазного разложения
8.2.Стойкость конденсированных пленок
Список использованных аббревиатур в литературе
Литература
Дополнительно: При заказе от 1500 р. отправка Почтой России бесплатно.
При заказе от 5000 р. разовая скидка 15% и отправка Почтой России бесплатно.
За пределы РФ книги не высылаю
Фото книг в состоянии "новое", "как новое" и "отличное" не высылаю.
Встречи по договоренности исключаются.
)
как новое;
В продаже с 23.01.2024
