В книге с единых позиций рассмотрены законы распределения состава в эпитаксиальных и рекристаллизованных слоях, а также распределения состава при введении примеси в подложку при диффузионном легировании и ионной имплантации. Все описание ведется на основе теории диффузионных и кристаллизационных процессов. Математический аппарат, терминология и обозначения соответствуют тем, которые применяются при описании процессов перераспределения состава в объемных кристаллах.
Книга рассчитана на научно-технических работников предприятий полупроводниковой промышленности. Может быть полезна преподавателям вузов, аспирантам и студентам старших курсов, специализирующимся в области твердотельного приборостроения. Представляет интерес и для работников, связанных с изготовлением слоев неполупроводниковых материалов, в частности прозрачных слоев веществ, применяемых в оптике.
Дополнительно: При заказе от 3-х книг -- скидка от 3%.
При заказе от 6-ти книг -- скидка от 6%.
При заказе от 10-ти книг -- скидка от 10%.
Доставка "Почтой России" или "Яндексом": отправка со склада в течение 2х-3х дней!
Отправка другими транспортными компаниями в течение 4х дней.
Самовывоз в любой день.
Подробно опишу состояние книги; содержание -- до заказа (через кнопку "Спросить" *).
Фото -- до за... [подробнее]