В монографии обобщен и систематизирован большой материал в области применения металлоорганических соединений в электронике. Изложены аспекты практического применения металлоорганических соединений в лазерах, для получения проводящих, резистивных, диэлектрических тонких пленок, полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур, а также для получения чистых материалов, защитных покрытий и т.д. Приводится теоретическое обоснование технологического применения металлоорганических соединений в производстве ряда изделий электроники. Монография содержит фактический материал по физико-химическим свойствам металлоорганических соединений.
Книга предназначена для широкого круга специалистов, работающих в области химии металлоорганических соединений и производства материалов для электроники, работников промышленности, студентов, аспирантов и преподавателей вузов.
Содержание:
1. Металлоорганические соединения - новые материалы для электроники;
2. Применение МОС в виде индивидуальных соединений;
3. Применение продуктов термо- и фотораспада индивидуальных соединений;
4. Применение продуктов реакций МОС с другими соединениями;
5. Процесс осаждения из паровой фазы при распаде МОС. Факторы влияющие на процесс;
6. Способы разложения МОС в паровой фазе;
7. Получение пленок металлов и их карбидов разложением МОС в паровой фазе;
8. Получение окисных и полимерных пленок разложением МОС в паровой фазе;
9. Разложение МОС в растворах;
10. Практическое применение МОС.
Дополнительно: ГРАЖДАНЕ ПОКУПАТЕЛИ! ПРЕЖДЕ, ЧЕМ ОФОРМЛЯТЬ ЗАКАЗ, ПРОЧТИТЕ УСЛОВИЯ!
Если вы особо чувствительны к состоянию книг, то прежде чем, оформлять заказ, выйдите на связь с продавцом, воспользовавшись функцией "СПРОСИТЬ" (только для зарегистрированных пользователей), поскольку ваше понимание "хорошего" и "отличного" может не совпадать с таковым пониманием продавца.
Встреча по договоренности происходит б... [подробнее]