Рассмотрены физико-химические особенности процессов, протекающих в плазме при плазмохимической обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Проанализирована связь внешних параметров ВЧ- и СВЧ-разрядов с внутренними характеристики плазмы. Даны рекомендации по использованию методик измерения параметров разряда и диагностики плазмы.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже