Каталог: Техника и технология »•» Технология и оборудование производств

	Ковалев, Л.К. Вакуумная оборудование для производства тонкопленочных структур квантовой электроиники Серия: Обзоры по электронной технике. Лазерная техника и оптоэлектроника
	Издательство: М.: ЦНИИ "Электроника"
	Переплет: мягкий; 84 страниц; 1982 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 08.02.2015

Аннотация

Дан обзор основных направлений развития различного типа оборудования для осаждения пленок испарением в вакууме, включающего аппаратуру для получения структур с точностью слоев по толщине 0.1 ... 1 нм и степенью неравномерности покрытий по толщине менее 1%, для выращивания пленок сложного стехиометрического состава и структур с чередующимися слоями из различных тугоплавких и диэлектрических материалов, а также для нанесения многослойных покрытий (до 33 слоев). Рассмотрены характеристики процесса осаждения и возможности аналитко-технического комплекса напылительного оборудования.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать