Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия

	Берлин, Е.В.; Двинин, С.А.; Сейдман, Л.А. Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок
	Издательство: М.: Техносфера
	Переплет: твердый; 176 страниц; 2007 г.
	ISBN: 978-5-94836-134-5; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 15.12.2018

Аннотация

В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазменного травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать