Изложены теоретические основы метода препарирования конденсатов в квазизамкнутом объеме, дана методология инженерных расчетов, приведены экспериментальные зависимости структуры, состава и электрофизических характеристик конденсатов от условий их формирования.
Книга предназначена для инженеров, специализирующихся в области разработки и технологии микроэлектронных элементов, и широкого круга специалистов в области физики полупроводников и технологии тонких пленок, а также научных работников и аспирантов.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже