Освещаются вопросы фотолитографии применительно к производству полупроводниковых приборов и ИС. Рассматриваются координатографы для изготовления оригиналов фотошаблонов, репродукционные фотокамеры, фотоповторитили и микрофотонаборные установки совмещения и экспонирования.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже