В книге дается обзор современного состояния экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике. Указаны методы борьбы с распылением, когда оно вызывает нежелательные последствия.
Монография может оказать помощь инженерно-техническим и научным работникам электронной, электровакуумной, оптической и полупроводниковой промышленности.
В ней затрагиваются вопросы, которые могут заинтересовать инженеров-физиков, специалистов в области физики плазмы и твердого тела, металлофизиков и химиков, а также студентов.
Книга содержит 47 таблиц, 167 рисунков. Тираж 4 000 экз.
Содержание:
1. Методы исследования.
2. Характеристика эммитированных частиц.
3. Влияние различных факторов на коэффициент распыления поликристаллов.
4. Распыление монокристаллов.
5. Взаимодействие ионов с твердыми веществами.
6. Теория катодного распыления.
7. Применение катодного распыления.
8. Катодное распыление в науке и технике.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже
