В книге излагаются принципы системного моделирования технологических процессов и полупроводниковых структур, создаваемых с помощью этих процессов. Описаны модели важнейших технологических процессов диффузий и фотолитографии, связывающие выходные характеристики приборов с режимами их изготовления. На базе разработанных моделей построены методы синтеза оптимальных алгоритмов управления технологическими процессами, применяемыми на стадиях разработки.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже