Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия

	Гришин, В.М.; Каминский, В.В.; Кумарев, Ф.А. и др. Аппаратура для диффузии и эпитаксии Серия: Обзоры по электронной технике. Полупроводниковые приборы
	Издательство: М.: ЦНИИ "Электроника"
	Переплет: мягкий; 44 страниц; 1975 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 09.04.2009

Аннотация

Обзор состоит из двух глав. В первой приведен анализ дозаторов, используемых в технологии микроэлектроники при получении парогазовых смесей для диффузии и эпитаксии. Обсуждаются преимущества и недостатки дозаторов. Во второй глава рассмотрены особенности применения резистивного нагрева при получении эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов. Сопоставляются различные системы организации газовых потоков в реакционных камерах и конструктивное оформление нагревателей-подложкодержателе й.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать