Каталог: Наука, образование »•» Технологии и инженерия
|
Ионные промышленные установки
|
Издательство: М.: МВТУ им Н.Э. Баумана |
Переплет: мягкий; 66 страниц; 1976 г. |
ISBN: [не указан]; Формат: стандартный |
Язык: русский |
На сайте с 06.07.2023 |
Аннотация
Учебное пособие.
Содержание:
Предисловие, стр. 3
Глава I. Плазменные источники ионов, стр. 5
1.1. Технические показатели ионных источников, стр. 5
1.2. Ионные источники с геометрическим и магнитным поджатием разрядов, стр. 7
1.3. Дуоплазматронный источник ионов, стр. 11
1.4. Источники с осцилляцией электронов в магнитном поле, стр. 13
1.5. Источники с холодным катодом и с разрядом в парах металлов, стр. 16
1.6. Высокочастотные ионные источники, стр. 19
Глава II. Формирование и транспортировка ионных пучков, стр. 24
2.1. Факторы, определяющие параметры ионных пучков, стр. 24
2.2. Формирование ионных пучков, стр. 29
2.3. Электростатические ионные линзы, стр. 34
2.4. Магнитный сепаратор и фильтр скоростей, стр. 39
2.5. Ускоритель ионного пучка, стр. 42
2.6. Магнитные линзы, стр. 46
Глава III. Виды ионных промышленных установок, стр. 50
3.1. Электромагнитное разделение изотопов, стр. 50
3.2. Инжекторы пучков частиц высокой энергии, стр. 55
3.3. Установки для ионного легирования полупроводников (Ионная имплантация), стр. 60
|
|
|
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже
|
|
листать |
|
|
|