В обзоре рассматриваются основные типы дефектов кристаллической структуры, которые возникают в бездислокационном кремнии в процессе роста монокристаллов, а также при обработках, используемых в технологическом цикле создания кремниевых приборов и обсуждаются различные методы, позволяющие уменьшить отрицательное воздействие этих дефектов на технологический выход годных приборов и электрические параметры.
В продаже
Хочу купить
сейчас этого издания книги в продаже нет
попробуйте поискать другие издания этого произведения при помощи ссылок ниже
или оставьте объявление о покупке или продаже